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首頁 > 產(chǎn)品中心 > 物性測試設(shè)備 > 在線監(jiān)測系統(tǒng) > 產(chǎn)品中心詳情

EddyCus? inline 在線面阻測量儀

簡介：

在線系列以非接觸方式測量各種基質(zhì)的層屬性，如金屬層厚度、片狀電阻、發(fā)射率、殘留水分或克重。相關(guān)的基底是玻璃、箔、紙、晶圓、塑料或陶瓷。監(jiān)測是通過永久測量或通過觸發(fā)事件來完成的，以便在快速移動的涂層過程中獲得等距離的結(jié)果。監(jiān)測解決方案可以在大氣或真空條件下實(shí)施。使用渦流技術(shù)的過程受益于高采樣率。測量結(jié)果可以通過客戶的軟件提供給過程控制系統(tǒng)。此外，SURAGUS還提供監(jiān)測軟件EddyCus EC Control，它可以可視化、存儲和分析計(jì)量數(shù)據(jù)。

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產(chǎn)品特點(diǎn) 基本配置應(yīng)用領(lǐng)域功能圖解硬件外觀軟件界面相關(guān)產(chǎn)品

產(chǎn)品特點(diǎn)

EddyCus? inline在線監(jiān)測系統(tǒng)采用非接觸電渦流原理測量各種導(dǎo)電材料基質(zhì)的屬性，如金屬層厚度、片材電阻、輻射率、殘留水分或克重等。監(jiān)測是通過持續(xù)測量或通過觸發(fā)來完成的，以便在快速移動的涂布過程中檢測。可視化軟件實(shí)時(shí)展示、存儲和分析，并通過軟件反饋給過程控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)在線監(jiān)測。該監(jiān)測解決方案適用于常規(guī)或真空環(huán)境，適合于場合定制。

其特點(diǎn)是：

極快的 / 高采樣率（1k采樣 / 秒）。

非接觸和非破壞性的

良好的自動化兼容能力

高靈敏度

基本配置

測量技術(shù)	非接觸式渦流傳感器
基材	晶錠、晶片、箔、玻璃等。
測量間隙尺寸	3 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 毫米（其他應(yīng)要求提供）
傳感器對數(shù)/監(jiān)控通道	1 – 99
傳感器尺寸（寬 x 長 x 高），單位為 mm	傳感器 M：80 x 100 x 66 傳感器 S：34 x 48 x 117
導(dǎo)電層	金屬/TCOs/CNTs/納米線/石墨烯/網(wǎng)格/PEDOT/其他
金屬薄膜的厚度測量（例如鋁、銀等）	1 nm – 2 mm（根據(jù)薄層電阻）
其他綜合測量	金屬厚度/透光率/密度/各向異性
環(huán)境	Ex-vacuo / in-vacuo @ T < 60°C / 140°F（根據(jù)要求更高）
采樣率	每秒 1 / 10 / 50 / 100 / 1,000 次測量
硬件觸發(fā)	5 / 12 / 24 伏
接口	UDP、.Net 庫、TCP、Modbus、模擬/數(shù)字
	VLSR	LSR	MSR	HSR
范圍 [歐姆/平方]	0.0001 – 0.1	0.01 – 10	0.1 – 100	10 – 2,000
精度/偏差			± 1%	± 1 – 3%
重復(fù)性 (2σ)			< 0.3%	< 0.5%